腾旋半导体设备用旋转接头又叫水/气滑环接头，是晶圆抛光机CMP及减薄机、半导体制造设备上的一个重要部件，用于输送研磨液、水、冷却液、研磨残渣液、压缩空气等流体。腾旋旋转接头采用特种材质及特殊结构的机械密封方案，具有密封性好、寿命长、扭矩低、发热量低、耐粉尘残渣等特点，确保客户主机的高可靠性，降低了检修频次。

腾旋半导体旋转接头产品/Rotary Joint Products：

1. 具有气体保压功能的旋转接头

The rotary joint with gas pressure holding function

技术特点/Features：

1) 低泄漏量，确保客户能够长时间吸附工件;

       Low leakage rate to ensure the customers can adsorb work-pieces for a long time;

2) 低启动扭矩，占用电机功率分配量少；

       Low starting torque, less allocation of motor power occupied;

3) 发热量低，可长期在封闭空间使用；

       Low heat generation, suitable for long-term use in enclosed spaces;

4) 模块化设计，降低客户采购成本。

       Modular design, reduce customer purchase costs